首页 > 产品中心 > 森东宝探针台 > 森东宝 > CGO-2/CGO-4/CGO-6CGO-高低温真空探针台

CGO-高低温真空探针台

简要描述:CGO-高低温真空探针台
温度范围77K-675K(液氮);

可应用于真空及常规环境;

超高温度分辨率;

特殊客制低温系统;

具有*稳定性

  • 产品型号:CGO-2/CGO-4/CGO-6
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-02-24
  • 访  问  量:174
产品详情

CGO-高低温真空探针台

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

CGO-高低温真空探针台

高温无氧化测试:

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

    晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

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光学系统:

显微镜类型

单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移动行程

水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

光源

外置LED环形光源/同轴光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素



◆ 其他组件:


真空组件

分子泵组/机械泵/离子泵

冷源组件

50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机



可选附件

超高温配件

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

分子泵组

激光系统

气敏测试配件



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