产品详情
CBTZ半自动探针台
CBTZ自动对位探针台能对晶片实现自动对位测试，
操作简单，快捷，测试精度高，具有MAP显示功能。
与测试仪连接后，能自动完成对各种晶体管芯的电参数测试及功能测试 。
CBTZ半自动探针台
主要技术参数
可测片型：3 寸、 4寸、5寸，6寸、8寸
测试硅片单元尺寸：20—200 mil
定位精度：≤ ±0.01mm/110mm
自动对准精度：±0.01mm
误测率：≤ 1 ‰
全自动对位时间：≤ 15 s
测试速度 45 mil 5.0 pcs/s
50 mil 4.6 pcs/s
87 mil 4.2 pcs/s
步进分辨率：0.001
Z向行程：0～5mm 可调
承片台转角θ调节范围：±20o
| CBTZ-3100Z型自动对位探针台能 对晶片实现自动对位测试，操作简单， 快捷，测试精度高，具有MAP显示功 能。它与测试仪连接后，能自动完成 对各种晶体管芯的电参数测试及功能 测试 。 |  |
操作方式CBTZ型自动对位探针台
<span text-align:center;font-size:12px;"="" style="font-family: Arial"> 机器软件的操作界面 | 除此之外还提供了更加简洁 方 便的小键盘操作方式，操作者可依据 个人偏好和习惯选择任意种操作 。
功能小键盘 |
机器功能具有自动扫描对位功能，对位精度 | 具有圆形测试，范围重测，探边 测试，范围打点，回收测试，矩形测试和脱机打点多种测试功能。  |
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