| 高温测试测量探针台系统
高温探针台：
特点/应用 |
高温探针台可用于
◆ 4/6/8/12英寸均可升级高温探针台
◆ 500度高温测试
◆ IV/CV/RF测试
◆ 探针台可根据客户要求定制
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台体规格：
型号 | CS-4-HT/CS-6-HT/CH-8-HT/CH-12-HT |
样品台尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸/12英寸 |
水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸 |
X-Y移动精度 | 10微米/1微米 |
样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台，最多可放置8个探针座 |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
温度范围 | 室温到300度/室温到400度/室温到600度 |
温控精度 | 1度/0.1度/0.01度 |
稳定性 | ±1度/±0.1度 |
外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高/840mm长*600mm宽*700mm高 |
重量 | 约30千克/60千克/100千克 |
光学系统：
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
定位器：
X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
线缆 | 同轴线/三轴线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
针尖材质 | 钨钢/铍铜 |
可选附件
水冷装置 |
显示器 |
转接头 |
射频测试配件 |
屏蔽箱 |
光学平台 |
镀金卡盘 |
光电测试配件 |
高压测试配件 |
显微镜快速倾仰装置 |
激光系统 |
探针卡夹具 |
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