静电力显微镜

简要描述:Trek 1100TN静电力显微镜(EFM)使电压分布的测量具有非常高的空间分辨率-10μm远远超出典型的静电电压表的能力。与在大气条件下操作的扫描探针显微镜相比,Trek的EFM还可以测量更大的表面积的电压分布。Trek的EFM使用一个反馈电压到检测器,它等于测量的电压,从而防止探测器和测试表面之间的电弧影响。

  • 产品型号:1100TN
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-04-28
  • 访  问  量:218
产品详情

Trek 1100TN静电力显微镜(EFM)使电压分布的测量具有非常高的空间分辨率-10μm远远超出典型的静电电压表的能力。与在大气条件下操作的扫描探针显微镜相比,Trek的EFM还可以测量更大的表面积的电压分布。Trek的EFM使用一个反馈电压到检测器,它等于测量的电压,从而防止探测器和测试表面之间的电弧影响。


静电力显微镜1100TN


可以在大气条件下使用


空间分辨率优于10μm


三种测量模式:


——静态


——谱线轮廓


——三维投影


测量范围:0到±1 kV直流


空间分辨率(参考输入电压与combshaped电极:信号强度10μm宽度的60%  信号强度20μm宽度的70%


分离探测器测试和表面(Z轴)与压电控制阶段:通常5μm


精度:超过0.5%。


电压灵敏度:大于100mV。


采样速度:30 ms到0.1 ms每个数据样本。


扫描区域


X轴和Y轴: ±15mm,分辨率为1μm。


Z轴范围:0到5mm。


Z轴压电阶段范围:0到80μm 和1μm准确性


光学系统


用于检测悬臂畸变的激光装置:激光二极管670nm带探测器光电二极管。


观察实际测量点。


光源:绿色


摄像头:CCD 380k像素。


物镜:10 x镜头500μm方形在监控摄像头

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