吉时利半导体参数分析仪主要性能指标:
I-V 源测量单元(SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
100 fA测量分辨率
选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
100 μF负载电容
吉时利半导体参数分析仪四象限操作:
2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
1 kHz - 10 MHz 频率范围
± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
200 MSa/s,5 ns 采样率
±40 V (80 V p-p),±800 mA
瞬态波形捕获模式
任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
两个高速脉冲电压源通道
±40 V (80 V p-p),± 800 mA
任意波形发生器 Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
降低电缆电容效应为材料、半导体器件和工艺开发提供优秀的参数分析仪
使用强大的Clarius 软件,可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试,结果清晰明了
- 上一篇:DAQ6510泰克吉时利数据采集系统
- 下一篇:2400四象限精密电压和电流源/负载